半导体晶圆搬运 (综合案例)12 寸晶圆 FOUP 搬运 EFEM 综合案例, 内置 SECS/GEM (E30/E5/E37), 亚微秒级抖动, 国产机器人 + 汇川伺服, 投资约 380 万元/套。